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JANDEL探頭KLA CDE ResMap介紹詳情
瀏覽次數:1268發布日期:2023-01-18

Jandel成立于 1967 年,為自動化工具制造探頭探針,還為半導體行業以及大學、實驗室工作和研究應用制造簡單的臺式電阻率測量設備。起初生產產品是電解濕度計電池,采用螺旋切割石英成型器雙線纏繞,直徑為 0.05 毫米的鉑絲,至今仍在生產和銷售相同的產品。多年來,通過不斷地發展創新,提高產品質量及性能,積累了豐富的設計開發經驗,可以為客戶提供滿意的產品及服務。


主要產品:

探頭、探針、手動探針臺、電阻率測量設備、電解濕度計電池


主要型號:

KLA、CDE ResMap、AIT、Napson、Veeco、Alessi

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KLA帶有 6 路連接器探頭與CDE工具制造的探頭非常相似,但探頭頭不可互換,因此應格外小心,尤其是當兩個系統都在現場使用時。CDE兼容探頭具有特的黑色物鏡轉換器。所有 Jandel 探頭都具有高水平的機械精度。通過視頻檢測系統和光學干涉儀驗證半徑、間距和平面度的規格。負載由電子測力計驗證。

性能特點

  • 高性能

技術參數

  • 探頭間距:0.500mm,0.635mm,1.00mm,1.016mm,1.27mm,1.591mm(針至針頭)

  • 公差:+/- 10微米

  • 布置:線性或方陣列

  • 針頭:碳化鎢直徑為0.4mm(直徑為0.3mm的距離間距)

  • 針頭選項:50%osmium合金提示可用

  • 半徑:12.5、25、40、100、150、200、300、500微米

  • 縮放到墊子:0.5毫米

  • 平面性:+/- 0.025mm或更好

  • 負載:固定在10克和250克之間

  • 電氣泄漏:500伏特的針之間的1013歐姆電阻